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>D&S>Valorisation des procédés HPPMS

Procédés de pulvérisation cathodique magnétron (PVD, IPVD, HPPMS) et dépôts en mode métallique ou réactif


Valorisation des procédés HPPMS

Contact : Mihai Ganciu (INPLPR de Bucarest)

Mihai Ganciu de l’INPLPR de Bucarest (en Roumanie) est un collaborateur de longues dates. Il a été l’initiateur de 2 procédés plasmas innovants fonctionnant en impulsions de forte puissance au LPGP :

  • l’un porte sur la production d’azote atomique à pression atmosphérique (cf DIREBIO). [Brevet : “Method for decontamination using atomic nitrogen”, Ganciu M, Pointu A M, Legendre B, Orphal J, Vervloet M, Touzeau M and Yagoubi N, US Patent Appl.10/610158, published December 30, 2004, WO 2005/002630, European patent application: EP1638616 (A0), US Patent: 7229582 B2 / June 12, 2007.]
  • l’autre porte sur la mise au point d’une alimentation en impulsions courtes (~quelques µs à quelques dizaines de µs) avec préionisation, utilisée pour les procédés HPPMS. [Brevet : «Deposition by magnetron cathodic pulverization in a pulsed mode with preionization» M Ganciu, M Hecq, S Konstantinidis, J-P Dauchot, M Touzeau, L de Poucques, J Bretagne, European Patent Appl., 4447072.2, Mars 22, 2004, WO 2005/090632, European Patent : EP1580298 (A1), extension : US, Japon, Chine, Russie.]

Présent trois ans au LPGP (de 2005 à 2008) sur un poste de Directeur de Recherche, il a conçu un système « table-top », un nouveau système de pulvérisation cathodique magnétron qui opère en mode HPPMS à moyenne et haute pression (10-1000mTorr). Ce système ne nécessite qu’un pompage primaire, il est de petites dimensions donc très portable.

 

table-top.jpg

Système table-top

table-top-depots.jpg

Dépôt dans des tranchées avec le système “table-top”
(LPGP, HJY, NILPRP, EMPA, 2007)

 

En terme de valorisation des procédés HPPMS, on peut mentionner la participation du LPGP à l’ERT (Equipe de Recherche Technologique) 2000 « Diagnostics des Plasmas Hors Equilibre » en collaboration avec la société Horiba-Jobin-Yvon, dont l’un de principaux objectifs est précisément la valorisation des magnétrons pulsés

On peut aussi signaler les contacts pris avec le CEA-CEREM Grenoble pour la création d’une société pour la valorisation des magnétrons pulsés.

 

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