Procédés de pulvérisation cathodique magnétron (PVD, IPVD, HPPMS) et dépôts en mode métallique ou réactif

Valorisation des procédés HPPMS

Mihai Ganciu de l’INPLPR de Bucarest (en Roumanie) est un collaborateur de longues dates. Il a été l’initiateur de 2 procédés plasmas innovants fonctionnant en impulsions de forte puissance au LPGP :

• l’un porte sur la production d’azote atomique à pression atmosphérique (cf DIREBIO). [Brevet : “Method for decontamination using atomic nitrogen”, Ganciu M, Pointu A M, Legendre B, Orphal J, Vervloet M, Touzeau M and Yagoubi N, US Patent Appl.10/610158, published December 30, 2004, WO 2005/002630, European patent application: EP1638616 (A0), US Patent: 7229582 B2 / June 12, 2007.]
• l’autre porte sur la mise au point d’une alimentation en impulsions courtes (~quelques µs à quelques dizaines de µs) avec préionisation, utilisée pour les procédés HPPMS. [Brevet : «Deposition by magnetron cathodic pulverization in a pulsed mode with preionization» M Ganciu, M Hecq, S Konstantinidis, J-P Dauchot, M Touzeau, L de Poucques, J Bretagne, European Patent Appl., 4447072.2, Mars 22, 2004, WO 2005/090632, European Patent : EP1580298 (A1), extension : US, Japon, Chine, Russie.]

Présent trois ans au LPGP (de 2005 à 2008) sur un poste de Directeur de Recherche, il a conçu un système « table-top », un nouveau système de pulvérisation cathodique magnétron qui opère en mode HPPMS à moyenne et haute pression (10-1000mTorr). Ce système ne nécessite qu’un pompage primaire, il est de petites dimensions donc très portable.

	Système table-top
	Dépôt dans des tranchées avec le système “table-top” (LPGP, HJY, NILPRP, EMPA, 2007)

En terme de valorisation des procédés HPPMS, on peut mentionner la participation du LPGP à l’ERT (Equipe de Recherche Technologique) 2000 « Diagnostics des Plasmas Hors Equilibre » en collaboration avec la société Horiba-Jobin-Yvon, dont l’un de principaux objectifs est précisément la valorisation des magnétrons pulsés

On peut aussi signaler les contacts pris avec le CEA-CEREM Grenoble pour la création d’une société pour la valorisation des magnétrons pulsés.